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簡要描述:光電輪廓儀的應用範圍很廣,它主要用於測量各種精密加工零件表麵的微觀三維結構,如表麵粗糙度;零件表麵的刻線;刻槽的深度和鍍層的厚度等。具體地說,如量塊、光學零件表麵的粗糙度;標尺、度盤的刻線深度;光柵的槽形結構;鍍層厚度和鍍層邊界處的結構形貌;磁(光)盤、磁頭表麵結構測量;矽片表麵粗糙度及其上圖形結構測量等等。
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物理特性儀器
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WGL光電輪廓儀的產品介紹儀器由倒置式改為正置式,更符合人們的操作習慣;應用CMOS代替CCD,省去圖象卡並提高了質量;用低壓電源代替高壓電源,節省了儀器成本;用國產的代替德國進口壓電陶瓷,解決了關鍵部件的進口難題;增加了自動步距和亮度校正程序,同時增加了局部放大三維立體圖功能;
WGL光電輪廓儀的參數表麵微觀不平深度測量範圍:130?1nm 測量的重複性:sRa≤0.5nm 測量精度:8nm 物鏡倍率:40X 數值孔徑:0.65 儀器視場 目視:f0.25mm 攝象:0.13X0.13mm儀器放大倍數 目視:500X 攝象(計算機屏幕觀察):2500X 接收器測量列陣:1000X1000 象素尺寸:5.2X5.2?m
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